近空间升华炉
近空间升华设备-对开式
型号:QJ-RTP1000JD
用途:利用近空间升华法制备CdTe薄膜和CdS多晶薄膜
规格:炉管规格Φ150*700mm
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产品详情
产品参数

该设备实在简易型近空间升华炉的基础上改进而来,温区更长,管径更大,对开式结构温场对称性更好,散热更快。源坩埚和衬底总成分别放置在两个石英托架内,放置在炉膛内部的石英管轨道上。

1. 炉膛开门结构分为左右两个独立单元,上下两排灯管分别独立控温,加热结束后炉膛均可通过按钮控制或自动分开成两半,管子暴露在室温环境下,底部两个风扇强制风冷对其散热。

2. 主炉体下方分为两个区域,分别为电器控制部分和真空部分。电器控制部分内有温控电路和机械动作控制器等。真空部分包含一台直联旋片式机械真空泵、数显真空计和正压保护电路。

3. 石英管固定通过两端法兰上的支撑固定架与炉体螺栓固定连接,保证管子和法兰位置始终不变。


炉膛模式: 前后移动开启式炉膛
显示模式: 7英寸触摸屏
加热元件: 短红外波灯管,上下水平面独立加热
工作温度: ≤800℃
升温速率: 10℃/s
样品移动:
温区长度: 300mm(恒温区100*100mm)
温度均匀性: ≤±3℃
炉管规格: Φ150*700mm
控温精度: ±1℃
密封方式: 快速法兰密封
仪表补偿: 室温自动补偿
温度曲线: 10段"时间—温度曲线"任意可设,预存100条工艺曲线
外壳温度: ≤50℃(室温≤25℃)
超温报警:
过流保护:
断偶提示:
测温元件: K型铠装热电偶
炉膛材料: 氧化铝纤维
外形尺寸: 1100*800*1300MM
整机功率: 20kw
电源参数: 220V 50Hz
真空与气氛:
抽真空能力: 大气到≤5Pa小于5min
气压范围: 10-3Pa~105Pa,机械泵极限≤5Pa
泄漏率: ≤5-4(Pa*m3/s)
真空计范围: 大气到10-4Pa,最大分辨率0.01Pa
气路系统:
1路进气口,内有管道布气。:
超压保护(≥1atm),根据设定压力值自动排气:
其它功能:
温度数据存储: 可存储大于3个月的数据
数据导出: U盘导出excel或csv格式
工艺曲线: 触摸屏可显示设定曲线预览