RTP快速退火炉
RTP快速退火炉
型号:RTP1100
用途:薄样品的极速升降温
规格:950*500*560mm
特点:可处理3.5英寸样品,升温速率50℃/S
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产品详情
产品参数

此款设备采用了自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,红外加热方式使得样品可以快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。选配的AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。

主要特点

Ø 极速升温50℃/S;

Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;

Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用。


产品名称: RTP快速退火炉
产品型号: RTP1100
额定温度: 1000℃
温场均匀性: ±5℃
炉膛升温速率: ≥50℃/S
最快降温速率: ≥10℃/S(空炉保温时间≤30S)
操控系统: 智能AIO操作系统
操作界面: 7英寸触摸屏
预存曲线: 可预存100条以上工艺曲线
曲线显示: 可实时显示设定曲线和实际升温曲线
数据导出: 可存储3个月以上温度数据,U盘导出EXECL表格数据
模拟老化功能: 可设定循环加热次数,模拟老化实验
快冷功能: 加热结束后炉膛自动移开,启动风扇对炉管散热。不破坏样品气氛环境
加热方式: 短波红外线加热(卤素灯管)
加热腔体结构: 双层石英管
外管直径: 100mm
内管直径: 80mm
气体保护方式: 内管进气,外管出气
超温保护: 温度出现过高时切断主回路
式样有效空间: 放置3.5英寸样片
真空系统: 机械泵/分子泵机组(需要另行选配)
整机真空度: 机械泵≤5Pa,分子泵机组10-4Pa
抽气端口尺寸: KF16
供气口尺寸: 1/4英寸双卡套
法兰冷却方式: 水冷(可选配水冷机)
真空显示: 指针压力表
额定功率: 15kw
外形尺寸: 950*500*560mm
重量: 50kg